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Stress Photonics社
近赤外光弾性応力測定システム NIR-GFP-1400
近赤外光弾性応力測定システム NIR-GFP-1400
近赤外光弾性応力測定システム NIR-GFP-1400
NIR-GFP-1400は従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかったシリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。
主な仕様
計測エリア 1×1〜200×200mm
ひずみ分解能 20με
空間分解能 512×480
電源 AC100V
カメラ部
ディテクター モノクロ/CCD
寸法(H×W×D) 280×100×100mm
重量 約1.5Kg
イルミネーター
寸法(H×W×D) 150×100×100mm
重量 約0.7Kg
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