GFP2600リアルタイム光弾性応力解析 (PSA) システム は、カレイドスコープ状の光学系を用いて、瞬時に応力画像または動画を取得します。本システムは、ガラス、シリコンウエハ、シリコンコーティングされたガラス、多くのセラミックスなど、透明な素材の応力を測定するために、異なる偏光光学セットにさらされた複数の応力画像のコピーを作成します。塗装されたガラスの表面では、塗料に反射する光を利用して応力を測定でき、不透明な素材では、応力感受性コーティングを施すことで負荷によって生じた表面のひずみを測定可能です。
各PSAシステム は、GFP（グレーフィールド・ポラリスコープ）カメラヘッド、イルミネーター、システム全体を結びつけるフレームワークで構成され、レンズの選択により様々な素材の応力測定に合わせてカスタマイズできます。
各PSAシステム は、GFP（グレーフィールド・ポラリスコープ）カメラヘッド、イルミネーター、システム全体を結びつけるフレームワークで構成され、レンズの選択により様々な素材の応力測定に合わせてカスタマイズできます。
充実した機能を備えたソフトウェア DeltaVision
GFP2600光弾性応力解析 (PSA) システムは、DeltaVisionソフトウェアで操作されます。これは、光弾性データの取得、表示、解析、アーカイブが可能な多用途ツールです。
DeltaVisionの機能
DeltaVisionには以下のような機能が含まれます。
- ●ライブ画像モニタリング
- ●画像取得とコントロール
- ●ラインプロットなどのデータ解析
- ●参照画像の差分
- ●データの平滑化
- ●応力画像への変換
- ●リアウィンドウデフロスタの熱応力測定
GFP2600関連システム
GFP2600 リアルタイムPSAシステムは、Stress Photonics社が提供する最も高速な応力測定装置の一つです。カメラは、手持ちのツールからオンラインインストールまで、さまざまな検査システムに容易に組み込むことができます。
以下は、最も人気のあるGFP2600システムです。
以下は、最も人気のあるGFP2600システムです。
EdgeMaster 2
EdgeMaster 2は、透明または着色ガラス、黒塗り有無に関わらずガラスのエッジ応力測定に最適化された光弾性応力解析システムです。このシステムは、フロントガラス、サイドライト、リアライトに対応しています。
GFP2600 NIR/SWIR
GFP2600 NIR/SWIR リアルタイム光弾性応力解析（PSA）システムは、シリコンウェハやシリコン被覆ガラス、セラミックスなどのNIR/SWIR透過性材料の応力を瞬時に測定します。NIR/SWIR円偏光照明装置と解析カメラを備え、エリアビューやストリップビューでの解析が可能です。
固定焦点カメラは、近距離で微小欠陥を検出し、遠距離で広範囲の検査ができます。シリコン被覆ガラスでは、エッジ応力の詳細観察や全幅検査も可能。NIR（750–1000nm）またはSWIR（1000–1700nm）のカメラにバンドパスフィルターを組み合わせ、用途に応じた最適化ができます。
固定焦点カメラは、近距離で微小欠陥を検出し、遠距離で広範囲の検査ができます。シリコン被覆ガラスでは、エッジ応力の詳細観察や全幅検査も可能。NIR（750–1000nm）またはSWIR（1000–1700nm）のカメラにバンドパスフィルターを組み合わせ、用途に応じた最適化ができます。
GFP2600 STRIP
GFP2600 STRIPは、LiteSentry社の「Osprey 9 Complete」の中心的な役割を担う製品です。Stress Photonics Inc.との共同開発により、あらゆる強化ガラス製造ラインに対応可能な革新的システムとして誕生しました。
業界最先端のOsprey歪み＋平坦度検査システムと統合され、1ユニットでガラス製造の課題を可視化・数値化。Osprey 9 Completeは、100%の検査精度を提供します。
業界最先端のOsprey歪み＋平坦度検査システムと統合され、1ユニットでガラス製造の課題を可視化・数値化。Osprey 9 Completeは、100%の検査精度を提供します。
GFP2600 システムの用途
以下はGFP2600で取得された画像のサンプルです。
建築用ガラス
GFP2600 STRIPカメラによって取得された標準データで、「ステッチング」を行い大規模な画像を作成しています。カメラはコンベア上部に配置されています。
自動車用リアライトデフロスタ（Shear45°）
熱応力画像がライブ映像から抽出され、解析可能な状態です。熱応力状態に直接影響されないせん断45応力。冷却/加熱状態の差異で応力状態の変化を確認。焼きなましパターンは削除済み。
自動車用リアライトデフロスタ(Shear０°)
熱応力画像がライブ映像から抽出され、解析可能な状態です。熱応力状態に直接影響されないせん断0応力。冷却/加熱状態の差異で応力状態の変化を確認。焼きなましパターンは削除済み。
多結晶シリコンの熱応力
上記画像はGFP1500で取得。GFP2600 NIR/SWIR応力測定システムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
シリコンウエハのレーザー加工穴
シリコンウエハのレーザー加工穴による応力を可視化。画像はGFP1500で取得。GFP2600 NIR/SWIRシステムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
シリコンウエハの亀裂
多結晶シリコンウエハ内の応力を利用した亀裂検出。画像はGFP1500で取得。GFP2600システムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
直径方向圧縮状態のシリコンディスク
画像はGFP1500で取得。GFP2600 NIR/SWIR応力測定システムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
シリコンウエハの結晶方位
シリコンウエハの結晶方位による偏光状態を可視化。画像はGFP1500で取得。GFP2600システムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
シリコンウエハの亀裂（エッジ）
単結晶シリコンウエハのエッジ付近の亀裂周辺の応力を可視化。画像はGFP1500で取得。GFP2600システムでも同様の応力画像を取得可能。GFP2600では、画像取得が瞬時に行えます。
主な仕様
| 寸法 | 76mm（W）× 105mm（H）× 60mm（D） |
|---|---|
| レンジ | 1000nm |
| 再現性 | 2% |
| 精度 | 0–10nm ± 0.5nm、10–100nm ± 5nm、100nm ± 5% |
| フレームレート | 10 f/s |
| Resolution | Pixel Resolution: 2750 × 1080 |
| レンズ | すべてのCマウントレンズ |
| インターフェース | GigE |
